Che cosa è il fascio ionico focalizzato (FIB)?
La tecnologia a fascio ionico focalizzato (FIB) è diventata parte integrante dei moderni progressi tecnologici, in particolare nella produzione di semiconduttori e nella nanofabbricazione. Sebbene la tecnologia FIB sia ben nota, la sua storia e il suo sviluppo non sono ampiamente noti.Fascio ionico focalizzato (FIB) è uno strumento di microtaglio che utilizza lenti elettromagnetiche per focalizzare un fascio di ioni in un'area molto piccola.La FIB prevede l'accelerazione di ioni da una sorgente ionica (la maggior parte delle FIB utilizza Ga, ma alcuni dispositivi hanno sorgenti di ioni He e Ne) e la successiva focalizzazione del fascio sulla superficie del campione.Microscopio elettronico a scansione a fascio ionico focalizzato (FIB-SEM) CIQTEK DB550 Origine della tecnologia FIB A partire dal XX secolo, la nanotecnologia si è rapidamente sviluppata come campo emergente nella scienza e nella tecnologia. Attualmente, la nanotecnologia rappresenta uno dei settori più all'avanguardia del progresso scientifico e tecnologico e ha implicazioni significative per lo sviluppo economico e sociale come strategia nazionale. Le nanostrutture possiedono proprietà uniche grazie alle loro unità strutturali che si avvicinano alla lunghezza di coerenza degli elettroni e alla lunghezza d'onda della luce, determinando effetti superficiali e interfacciali, effetti dimensionali ed effetti dimensionali quantistici. Presentano numerose caratteristiche innovative in elettronica, magnetismo, ottica e meccanica e possiedono un enorme potenziale nelle applicazioni di dispositivi ad alte prestazioni. Lo sviluppo di nuove strutture e dispositivi su scala nanometrica richiede il progresso di tecniche di micro-nanofabbricazione precise, multidimensionali e stabili. I processi di micro-nanofabbricazione sono estesi e comunemente coinvolgono tecniche come l'impianto ionico, la fotolitografia, l'incisione e la deposizione di film sottili. Negli ultimi anni, con la tendenza alla miniaturizzazione nei moderni processi di produzione, la tecnologia Focused Ion Beam (FIB) è stata sempre più applicata nella fabbricazione di micro-nanostrutture in vari campi, diventando una tecnica indispensabile e importante nella micro-nanofabbricazione.La tecnologia FIB è sviluppata sulla base dei sistemi convenzionali a fascio ionico e a fascio elettronico focalizzato, ed è essenzialmente identica. Rispetto ai fasci elettronici, la tecnologia FIB scansiona la superficie del campione utilizzando un fascio ionico generato da una sorgente ionica dopo accelerazione e focalizzazione. Poiché gli ioni hanno una massa molto maggiore degli elettroni, anche gli ioni più leggeri, come gli ioni H+, hanno una massa oltre 1800 volte superiore a quella degli elettroni. Ciò consente al fascio ionico non solo di ottenere capacità di imaging ed esposizione simili ai fasci elettronici, ma anche di utilizzare la massa elevata degli ioni per polverizzare atomi da superfici solide, rendendolo uno strumento di elaborazione ...