Tempo di permanenza 10 ns/pixel, velocità massima di acquisizione delle immagini 2*100 M pixel/s
Microscopio elettronico a scansione ad alta velocità per l'imaging su scala incrociata di Campioni di grandi volumi
CIQTEK HEM6000 tecnologie per strutture come il cannone elettronico a corrente a fascio largo ad alta luminosità, il sistema di deflessione del fascio di elettroni ad alta velocità, la decelerazione dello stadio campione ad alta tensione, l'asse ottico dinamico e l'obiettivo combinato elettromagnetico ed elettrostatico a immersione per ottenere un'acquisizione di immagini ad alta velocità garantendo al tempo stesso una risoluzione su scala nanometrica.
Il processo operativo automatizzato è progettato per applicazioni quali un flusso di lavoro di imaging ad alta risoluzione su grandi aree più efficiente e intelligente. La velocità di imaging può raggiungere oltre 5 volte più velocemente di un microscopio elettronico a scansione a emissione di campo convenzionale (FESEM).
Tempo di permanenza 10 ns/pixel, velocità massima di acquisizione delle immagini 2*100 M pixel/s
HEM6000-Semi | HEM6000-Bio | HEM6000-Lit |
Bassa tensione e alta risoluzione | Bassa tensione e alta risoluzione | Funzionamento semplificato |
Ampio campo visivo | Vari algoritmi automatizzati per il campo biologico | Opzioni di selezione abbondanti |
Algoritmi appositamente ottimizzati per un facile allineamento di campioni altamente ripetitivi | Rilevatore BSE ottimizzato per applicazioni biologiche | Flusso di lavoro automatizzato ad alta velocità |
Deflessione elettrostatica a cinque stadi | Sistema di ricostruzione biologica 3D |
Risultato | HEM6000 | Emissione di campo convenzionale SEM |
Dimensione pixel (fotogramma singolo) | 8192 * 8192 | |
Tempo pixel | 120 ns(punto/linea/fotogramma: media 6/2/1) | 800 ns |
Dimensione pixel | 16 nm | |
Campo totale coperto | 2mm2 | |
Tempo di acquisizione totale | 25 minuti e 32 secondi. | 140 minuti |
Specifiche del microscopio SEM ad alta velocità CIQTEK HEM6000 | HEM6000-Semi | HEM6000-Bio | HEM6000-Lite | |
Ottica elettronica | Risoluzione | 1,5 nm@1 kV SE | 1,8 nm@1 kV BSE | 1,5 nm@15 kV BSE |
Tensione di accelerazione | 0,1 kv~6 kV (modalità di decelerazione) | 6 kV~30 kV (modalità nessuna decelerazione) | 6 kV~30 kV | |
Ingrandimento | 66~1.000.000x | |||
Pistola elettronica | Cannone elettronico ad emissione di campo Schottky ad alta luminosità | |||
Tipo di obiettivo | Lente obbiettivo combinato elettromagnetico ed elettrostatico a immersione | |||
Deflettore elettrostatico | Cinque fasi | Quattro stadi | Quattro stadi | |
Sistema di caricamento dei campioni | Sistema di vuoto | Sistema di vuoto completamente automatico senza olio | ||
Monitoraggio dei campioni | Telecamera di monitoraggio della camera principale orizzontale; telecamera di monitoraggio della camera di carico per scambio campioni verticale | |||
Dimensione massima del campione | 4 pollici di diametro | |||
Tipo di stadio del campione | Piano portacampione motorizzato a 3 assi (*piano portacampione ad azionamento piezoelettrico opzionale) | |||
Campo di viaggio sul palco del campione | X, Y: 110 mm; Z: 16mm | |||
Ripetibilità della fase del campione | Xï¼±0,6 μmï¼Yï¼±0,3 μm | |||
Scambio di campioni | Completamente automatico | |||
Durata dello scambio di campioni | <15 minuti | |||
Pulizia della camera di carico | Sistema di pulizia al plasma completamente automatico | |||
Acquisizione ed elaborazione delle immagini | Tempo di permanenza | 10 ns/pixel | ||
Velocità di acquisizione | 2*100 M pixel/s | |||
Dimensione immagine | 16K*16K | |||
Rivelatore e accessori | Rivelatore di elettroni retrodiffusi retrattile a basso angolo | Facoltativo | Nessuno | Norma |
Rivelatore di elettroni retrodiffusi ad angolo basso, montato in basso | Facoltativo | Norma | Nessuno | |
Rilevatore di elettroni complessivo in colonna | Norma | Facoltativo | Facoltativo | |
Rilevatore di elettroni retrodiffusi ad alto angolo in colonna | Facoltativo | Facoltativo | Facoltativo | |
Piano portacampioni azionato piezoelettrico | Facoltativo | Facoltativo | Facoltativo | |
Modalità FOV ampio (SW) ad alta risoluzione | Facoltativo | Nessuno | Nessuno | |
Sistema di pulizia al plasma della camera di carico | Facoltativo | Facoltativo | Facoltativo | |
Sistema di caricamento dei campioni da 6 pollici | Facoltativo | Facoltativo | Facoltativo | |
Piattaforma antivibrante attiva | Facoltativo | Facoltativo | Facoltativo | |
Riduzione del rumore Al; Cucitura su campo di grandi dimensioni; Ricostruzione 3D | Facoltativo | Facoltativo | Facoltativo | |
Interfaccia utente | Lingua | Inglese | ||
SO | Finestre | |||
Navigazione | Navigazione ottica, navigazione gestuale | |||
Funzione automatica | Riconoscimento automatico del campione, selezione automatica dell'area di imaging, luminosità e contrasto automatici, messa a fuoco automatica, stigmatore automatico |