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SEM ad alta velocità | HEM6000

Ad alta velocità Emissione di campo completamente automatizzata Microscopio elettronico a scansione Postazione di lavoro

CIQTEK HEM6000 tecnologie delle strutture quali il cannone elettronico a corrente a fascio largo ad alta luminosità, il sistema di deflessione del fascio elettronico ad alta velocità, la decelerazione dello stadio di campionamento ad alta tensione, l'asse ottico dinamico e l'obiettivo combinato elettromagnetico ed elettrostatico a immersione per ottenere un'acquisizione di immagini ad alta velocità garantendo al contempo una risoluzione su scala nanometrica.

Il processo di funzionamento automatizzato è progettato per applicazioni come un flusso di lavoro di imaging ad alta risoluzione su ampie aree più efficiente e intelligente. La sua velocità di imaging è oltre cinque volte superiore a quella di un microscopio elettronico a scansione a emissione di campo convenzionale (FESEM).

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HEM6000-Semi HEM6000-Bio HEM6000-Lit
Bassa tensione e alta risoluzione Bassa tensione e alta risoluzione Funzionamento semplificato
Ampio campo visivo Vari algoritmi automatizzati per il campo biologico Ampia scelta di opzioni
Algoritmi appositamente ottimizzati per un facile allineamento di campioni altamente ripetitivi Rilevatore BSE ottimizzato per applicazioni biologiche Flusso di lavoro automatizzato ad alta velocità
Deflessione elettrostatica a cinque stadi Sistema di ricostruzione biologica 3D
  • Automazione ad alta velocità
    Processo di caricamento e scaricamento del campione completamente automatico e operazione di acquisizione delle immagini, che rende la velocità di imaging complessiva 5 volte più veloce di quella del FESEM convenzionale
  • Ampio campo visivo
    Tecnologia che sposta dinamicamente l'asse ottico in base all'intervallo di deflessione della scansione, ottenendo una distorsione minima dei bordi
  • Bassa distorsione dell'immagine
    La tecnologia di decelerazione in tandem della fase campione consente di ottenere una bassa energia di atterraggio, ottenendo al contempo immagini ad alta risoluzione

High Speed SEM HEM6000

Specifiche del microscopio SEM ad alta velocità CIQTEK HEM6000 HEM6000-Semi HEM6000-Bio HEM6000-Lite
Ottica elettronica Risoluzione 1,5 nm a 1 kV SE 1,8 nm a 1 kV BSE 1,5 nm a 15 kV BSE
Tensione di accelerazione 0,1 kV~6 kV (modalità di decelerazione) 6 kV~30 kV (modalità senza decelerazione) 6 kV~30 kV
Ingrandimento 66~1.000.000x
Cannone elettronico Cannone elettronico ad emissione di campo Schottky ad alta luminosità
Tipo di lente obiettivo Obiettivo combinato elettromagnetico ed elettrostatico a immersione
Deflettore elettrostatico Cinque stadi Quattro stadi Quattro stadi
Sistema di caricamento del campione Sistema di vuoto Sistema di vuoto completamente automatico senza olio
Monitoraggio del campione Telecamera di monitoraggio orizzontale della camera principale; telecamera di monitoraggio verticale della camera di carico del compartimento di scambio campioni
Dimensione massima del campione 4 pollici di diametro
Tipo di stadio del campione Tavolino portacampioni motorizzato a 3 assi (*tavolino portacampioni con azionamento piezoelettrico opzionale)
Intervallo di viaggio della fase campione X, Y: 110 mm; Z: 16 mm
Ripetibilità dello stadio del campione X: ± 0,6 μm; Y: ± 0,3 μm
Scambio di campioni Completamente automatico
Durata dello scambio di campioni <15 minuti
Pulizia della camera di carico Sistema di pulizia al plasma completamente automatico
Acquisizione ed elaborazione delle immagini Tempo di permanenza 10 ns/pixel
Velocità di acquisizione 2*100 milioni di pixel/s
Dimensione dell'immagine 16 mila*16 mila
Rilevatore e accessori Rilevatore di elettroni retrodiffusi retrattile a basso angolo Opzionale Nessuno Standard
Rilevatore di elettroni retrodiffusi a basso angolo, montato in basso Opzionale Standard Nessuno
Rilevatore di elettroni complessivo in colonna Standard Opzionale Opzionale
Rilevatore di elettroni retrodiffusi ad alto angolo in colonna Opzionale Opzionale Opzionale
Tavolino portacampioni piezoelettrico Opzionale Opzionale Opzionale
Modalità FOV grande ad alta risoluzione (SW) Opzionale Nessuno Nessuno
Sistema di pulizia al plasma della camera di carico Opzionale Opzionale Opzionale
Sistema di caricamento campioni da 6 pollici Opzionale Opzionale Opzionale
Piattaforma antivibrante attiva Opzionale Opzionale Opzionale
Riduzione del rumore Al; Cucitura di campi di grandi aree; Ricostruzione 3D Opzionale Opzionale Opzionale
Interfaccia utente Lingua Inglese
Sistema operativo Finestre
Navigazione Navigazione ottica, navigazione gestuale
Funzione automatica Riconoscimento automatico del campione, selezione automatica dell'area di imaging, luminosità e contrasto automatici, messa a fuoco automatica, stigmatizzatore automatico
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