sem electron microscope

SEM ad alta velocità | HEM6000

Microscopio elettronico a scansione ad alta velocità per l'imaging su scala incrociata di Campioni di grandi volumi

CIQTEK HEM6000 tecnologie per strutture come il cannone elettronico a corrente a fascio largo ad alta luminosità, il sistema di deflessione del fascio di elettroni ad alta velocità, la decelerazione dello stadio campione ad alta tensione, l'asse ottico dinamico e l'obiettivo combinato elettromagnetico ed elettrostatico a immersione per ottenere un'acquisizione di immagini ad alta velocità garantendo al tempo stesso una risoluzione su scala nanometrica.

Il processo operativo automatizzato è progettato per applicazioni quali un flusso di lavoro di imaging ad alta risoluzione su grandi aree più efficiente e intelligente. La velocità di imaging può raggiungere oltre 5 volte più velocemente di un microscopio elettronico a scansione a emissione di campo convenzionale (FESEM).


HEM6000-Semi HEM6000-Bio HEM6000-Lit
Bassa tensione e alta risoluzione Bassa tensione e alta risoluzione Funzionamento semplificato
Ampio campo visivo Vari algoritmi automatizzati per il campo biologico Opzioni di selezione abbondanti
Algoritmi appositamente ottimizzati per un facile allineamento di campioni altamente ripetitivi Rilevatore BSE ottimizzato per applicazioni biologiche Flusso di lavoro automatizzato ad alta velocità
Deflessione elettrostatica a cinque stadi Sistema di ricostruzione biologica 3D
  • Automazione ad alta velocità
    Processo di caricamento e scaricamento dei campioni completamente automatico e operazione di acquisizione delle immagini, che rende la velocità di imaging complessiva 5 volte più veloce di quella del FESEM convenzionale
  • Ampio campo visivo
    La tecnologia che sposta dinamicamente l'asse ottico in base all'intervallo di deflessione della scansione, raggiunge una distorsione minima dei bordi
  • Bassa distorsione dell'immagine
    La tecnologia di decelerazione tandem dello stadio campione consente di ottenere una bassa energia di atterraggio, ottenendo immagini ad alta risoluzione

High Speed SEM HEM6000

Specifiche del microscopio SEM ad alta velocità CIQTEK HEM6000 HEM6000-Semi HEM6000-Bio HEM6000-Lite
Ottica elettronica Risoluzione 1,5 nm@1 kV SE 1,8 nm@1 kV BSE 1,5 nm@15 kV BSE
Tensione di accelerazione 0,1 kv~6 kV (modalità di decelerazione) 6 kV~30 kV (modalità nessuna decelerazione) 6 kV~30 kV
Ingrandimento 66~1.000.000x
Pistola elettronica Cannone elettronico ad emissione di campo Schottky ad alta luminosità
Tipo di obiettivo Lente obbiettivo combinato elettromagnetico ed elettrostatico a immersione
Deflettore elettrostatico Cinque fasi Quattro stadi Quattro stadi
Sistema di caricamento dei campioni Sistema di vuoto Sistema di vuoto completamente automatico senza olio
Monitoraggio dei campioni Telecamera di monitoraggio della camera principale orizzontale; telecamera di monitoraggio della camera di carico per scambio campioni verticale
Dimensione massima del campione 4 pollici di diametro
Tipo di stadio del campione Piano portacampione motorizzato a 3 assi (*piano portacampione ad azionamento piezoelettrico opzionale)
Campo di viaggio sul palco del campione X, Y: 110 mm; Z: 16mm
Ripetibilità della fase del campione Xï¼±0,6 μmï¼Yï¼±0,3 μm
Scambio di campioni Completamente automatico
Durata dello scambio di campioni <15 minuti
Pulizia della camera di carico Sistema di pulizia al plasma completamente automatico
Acquisizione ed elaborazione delle immagini Tempo di permanenza 10 ns/pixel
Velocità di acquisizione 2*100 M pixel/s
Dimensione immagine 16K*16K
Rivelatore e accessori Rivelatore di elettroni retrodiffusi retrattile a basso angolo Facoltativo Nessuno Norma
Rivelatore di elettroni retrodiffusi ad angolo basso, montato in basso Facoltativo Norma Nessuno
Rilevatore di elettroni complessivo in colonna Norma Facoltativo Facoltativo
Rilevatore di elettroni retrodiffusi ad alto angolo in colonna Facoltativo Facoltativo Facoltativo
Piano portacampioni azionato piezoelettrico Facoltativo Facoltativo Facoltativo
Modalità FOV ampio (SW) ad alta risoluzione Facoltativo Nessuno Nessuno
Sistema di pulizia al plasma della camera di carico Facoltativo Facoltativo Facoltativo
Sistema di caricamento dei campioni da 6 pollici Facoltativo Facoltativo Facoltativo
Piattaforma antivibrante attiva Facoltativo Facoltativo Facoltativo
Riduzione del rumore Al; Cucitura su campo di grandi dimensioni; Ricostruzione 3D Facoltativo Facoltativo Facoltativo
Interfaccia utente Lingua Inglese
SO Finestre
Navigazione Navigazione ottica, navigazione gestuale
Funzione automatica Riconoscimento automatico del campione, selezione automatica dell'area di imaging, luminosità e contrasto automatici, messa a fuoco automatica, stigmatore automatico
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