Microscopio elettronico a scansione a emissione di campo (FE-SEM) con colonne a fascio ionico focalizzato (FIB)
Il microscopio elettronico a scansione a fascio ionico focalizzato CIQTEK DB550 (FIB-SEM) è dotato di una colonna a fascio ionico focalizzato per la nanoanalisi e la preparazione dei campioni. Utilizza la tecnologia ottica elettronica "super tunnel", bassa aberrazione e design dell'obiettivo non magnetico e ha la funzione "bassa tensione, alta risoluzione" per garantire le sue capacità analitiche su scala nanometrica.
Le colonne ioniche facilitano una sorgente ionica di metallo liquido Ga+ con fasci ionici altamente stabili e di alta qualità per garantire capacità di nanofabbricazione. DB550 è una workstation di nano-analisi e fabbricazione all-in-one con un nano-manipolatore integrato, un sistema di iniezione del gas e un software GUI intuitivo.
1. "Super Tunnel" tecnologia della colonna con ottica elettronica/decelerazione del fascio in colonna
Diminuisce l'effetto di carica spaziale, garantendo prestazioni di risoluzione a bassa tensione.
2. Senza crossover nel percorso del fascio di elettroni
Riduce efficacemente le aberrazioni dell'obiettivo e migliora la risoluzione.
3. Obiettivo composto elettromagnetico ed elettrostatico
Ridurre le aberrazioni, migliorare significativamente la risoluzione a basse tensioni e consentire l'osservazione di campioni magnetici.
4. Obiettivo a temperatura costante raffreddato ad acqua
Garantire la stabilità, l'affidabilità e la ripetibilità delle prestazioni dell'obiettivo.
5. Sistema di commutazione dell'apertura multiforo variabile mediante deflessione del raggio elettromagnetico
La commutazione automatica tra le aperture senza movimento meccanico consente il passaggio rapido tra le varie modalità di imaging.
Risoluzione: 3 nm@30 kV
Corrente sonda: da 1 pA a 65 nA
Intervallo di tensione di accelerazione: da 0,5 kV a 30 kV
Intervallo di scambio della sorgente ionica: ≥1000 ore
Stabilità: 72 ore di funzionamento ininterrotto
Camera montata internamente
Tre assi completamente piezoelettrici
Precisione del motore passo-passo ≤10 nm
Velocità massima di spostamento 2 mm/s
Sistema di controllo integrato
Progettazione GIS unica
Varie fonti di precursori di gas disponibili
Distanza di inserimento dell'ago ≥35 mm
Ripetibilità del movimento ≤10 μm
Ripetibilità del controllo della temperatura di riscaldamento ≤0,1°C
Intervallo di riscaldamento: temperatura ambiente fino a 90°C (194°F)
Sistema di controllo integrato
Semiconduttore
Nell'industria dei semiconduttori, i chip IC possono riscontrare vari guasti. Vengono utilizzati vari metodi per analizzare i chip per migliorare l'affidabilità. In particolare, l'analisi con fascio ionico focalizzato (FIB) è una tecnica analitica affidabile.
Caratterizzazione dei campioni/Fabbricazione micro-nano/Analisi della sezione trasversale/Preparazione dei campioni TEM/Analisi dei guasti
Industria delle nuove energie
Osservazione e analisi di sezioni trasversali di materiali per la ricerca e lo sviluppo di processi.
Osservazione morfologica/Analisi delle dimensioni delle particelle/Analisi della sezione trasversale / Analisi della composizione e della fase/Analisi dei guasti del materiale della batteria agli ioni di litio/P campione TEMriparazione
Materiale ceramico
Analisi dei materiali: il sistema FIB-SEM può eseguire lavorazioni micro-nanografiche e imaging ad alta precisione di materiali ceramici, combinati con varie modalità di rilevamento del segnale come elettroni retrodiffusi (BSE), spettroscopia a raggi X a dispersione di energia (EDX) , modello di diffrazione di elettroni retrodiffusi (EBSD) e spettrometria di massa di ioni secondari (SIMS), per studiare il materiale su scala da micro a nanometrica con spazio tridimensionale in profondità.
Materiale in lega
Per aumentare la resistenza, la durezza, la tenacità, ecc. dei metalli, altre sostanze come ceramica, metalli, fibre, ecc. vengono aggiunte al metallo utilizzando metodi come metallurgia, fusione, estrusione, ecc., che sono chiamate fasi rinforzate.
Il campione TEM preparato da un FIB-SEM viene utilizzato per osservare informazioni come fasi rinforzate e atomi di confine attraverso segnali elettronici trasmessi. I campioni TEM possono essere utilizzati per l'analisi della diffrazione di Kikuchi (TKD), l'analisi metallografica, l'analisi della composizione e il test in situ della sezione trasversale della lega.
Piattaforma di interfaccia utente altamente integrata
Le funzioni di imaging ed elaborazione del microscopio SEM sono integrate in un'interfaccia utente complessiva, con riferimenti comparativi visualizzati a sinistra e a destra.
Accessori hardware e interfacce utente sviluppati internamente come sistema di iniezione del gas e nano-manipolatore, design intuitivo del layout per un funzionamento facile da usare.
Ridurre efficacemente la contaminazione della camera Design della guida lineare, apertura e chiusura a cassetto.
Spettrometria a dispersione di energia
Catholuminescenza
EBSD
Microscopio elettronico a scansione a fascio ionico focalizzato CIQTEK FIB-SEM |
Dimostrazione pratica CIQTEK FIB-SEM - Preparazione del campione TEM |
Specifiche CIQTEK FIB-SEM DB550 | ||
Ottica elettronica | Tipo di pistola elettronica | Cannone elettronico ad emissione di campo Schottky ad alta luminosità |
Risoluzione | 0,9 nm@15 kV; 1,6 nm@1 kV | |
Tensione di accelerazione | Da 0,02 kV a 30 kV | |
Sistema a fascio ionico | Tipo di sorgente ionica | Gallio |
Risoluzione | 3 nm@30 kV | |
Tensione di accelerazione | Da 0,5 kV a 30 kV | |
Camera dei campioni | Sistema di vuoto | Controllo completamente automatico, sistema di vuoto senza olio |
Fotocamere |
Tre fotocamere (Navigazione ottica x1 + monitor camera x2) |
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Tipo di fase | Piano portacampioni eucentrico meccanico motorizzato a 5 assi | |
Intervallo di livelli |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10°~+70°, R:360° |
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Rivelatori ed estensioni SEM | Norma |
Rilevatore di elettroni nell'obiettivo Rivelatore Everhart-Thornley (ETD) |
Facoltativo |
Rivelatore retrattile di elettroni retrodiffusi (BSED) Rivelatore retrattile per microscopia elettronica a trasmissione a scansione (STEM) Spettrometro a dispersione di energia (EDS/EDX) Modello di diffrazione della retrodiffusione elettronica (EBSD) Nanomanipolatore Sistema di iniezione del gas Pulitore al plasma Blocco di carico per lo scambio dei campioni Pannello di controllo con trackball e manopola |
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Interfaccia utente | Lingue | Inglese |
Sistema operativo | Finestre | |
Navigazione | Navigazione ottica, Navigazione rapida gestuale | |
Funzioni automatiche | Luminosità e contrasto automatici, Messa a fuoco automatica, Stigmatizzatore automatico |