Microscopia elettronica a scansione a emissione di campo ad altissima risoluzione (FESEM): 0,6 nm@15 kV e 1,0 nm@1 kV
Il FESEM ad altissima risoluzione CIQTEK SEM5000X utilizza il processo di progettazione della colonna aggiornato, la tecnologia "SuperTunnel" e il design dell'obiettivo ad alta risoluzione per migliorare la risoluzione dell'immagine a bassa tensione.
Le porte della camera dei campioni FESEM SEM5000X si estendono a 16 e il blocco del carico per lo scambio dei campioni supporta wafer fino a 8 pollici (diametro massimo 208 mm), espandendo in modo significativo le applicazioni. Le modalità di scansione avanzate e le funzioni automatizzate migliorate offrono prestazioni più potenti e un'esperienza ancora più ottimizzata.
(*Accessori opzionali per FESEM SEM5000X)
Specifiche CIQTEK FESEM SEM5000X |
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Parametri chiave | Risoluzione |
0,6 nm a 15 kV, SE 1,0 nm a 1 kV, SE |
Tensione di accelerazione | 0,02~30 kV | |
Ingrandimento | 1~2.500.000 x | |
Tipo di pistola elettronica | Cannone elettronico a emissione di campo Schottky | |
Camera dei campioni |
Sistema di aspirazione
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Controllo completamente automatizzato |
Fotocamere | Doppia fotocamera (navigazione ottica + monitor della camera) | |
Tipo di fase | Piano portacampioni eucentrico meccanico a 5 assi | |
Intervallo di livelli |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10*~+70°, R: 360° |
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Rivelatori ed Estensioni SEM | Norma |
Rilevatore nell'obiettivo Rivelatore Everhart-Thornley (ETD) |
Facoltativo |
Rivelatore retrattile di elettroni retrodiffusi (BSED) Rivelatore retrattile per microscopia elettronica a trasmissione a scansione (STEM) Spettrometro a dispersione di energia (EDS/EDX) Modello di diffrazione della retrodiffusione elettronica (EBSD) Blocco di carico per lo scambio dei campioni (4" e 8" opzionale) Pannello di controllo con trackball e manopola Decelerazione tandem fase campione Sistema di recinzione per campo magnetico e rumore acustico (certificato SEMI) |
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Software | Lingue |
Inglese |
Sistema operativo |
Finestre |
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Navigazione |
Nav-Cam, navigazione rapida tramite gesti |
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Funzioni automatiche |
Luminosità e contrasto automatici, Messa a fuoco automatica, Stigmatizzatore automatico |