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Microscopia elettronica a scansione a emissione di campo ad altissima risoluzione (FESEM): 0,6 nm@15 kV e 1,0 nm@1 kV

Il FESEM ad altissima risoluzione CIQTEK SEM5000X utilizza il processo di progettazione della colonna aggiornato, la tecnologia "SuperTunnel" e il design dell'obiettivo ad alta risoluzione per migliorare la risoluzione dell'immagine a bassa tensione.

Le porte della camera dei campioni FESEM SEM5000X si estendono a 16 e il blocco del carico per lo scambio dei campioni supporta wafer fino a 8 pollici (diametro massimo 208 mm), espandendo in modo significativo le applicazioni. Le modalità di scansione avanzate e le funzioni automatizzate migliorate offrono prestazioni più potenti e un'esperienza ancora più ottimizzata.

FESEM ad altissima risoluzione
(0,6 nm@15 kV)
Tecnologia di ottica elettronica "SuperTunnel"
*Modalità doppia decelerazione (Duo-Dec)

Stadio campione eucentrico meccanico
*Blocco di carico per lo scambio dei campioni (massimo 8")

(*Accessori opzionali per FESEM SEM5000X)

Punti salienti della tecnica CIQTEK FESEM SEM5000X

Imaging FESEM ad altissima risoluzione con 0,6 nm a 15 kV, 1,0 nm a 1 kV
Tecnologia a doppia decelerazione che combina la decelerazione tandem del tavolino del campione e la tecnologia ottica elettronica "SuperTunnel", pronta a sfidare condizioni di imaging estreme
Piano portacampione eucentrico meccanico ad alta precisione, design ultrastabile con smorzamento delle vibrazioni, disponibile anche con opzione di custodia integrata, riduce notevolmente le interferenze ambientali che possono influenzare la risoluzione

Blocco di carico per lo scambio di campioni per wafer fino a 8" (massimo 208 mm di diametro), per semiconduttori e ricerca scientifica

CIQTEK FESEM SEM5000X ad altissima risoluzione

Specifiche CIQTEK FESEM SEM5000X
Parametri chiave	Risoluzione	0,6 nm a 15 kV, SE 1,0 nm a 1 kV, SE
	Tensione di accelerazione	0,02~30 kV
	Ingrandimento	1~2.500.000 x
	Tipo di pistola elettronica	Cannone elettronico a emissione di campo Schottky
Camera dei campioni	Sistema di aspirazione	Controllo completamente automatizzato
	Fotocamere	Doppia fotocamera (navigazione ottica + monitor della camera)
	Tipo di fase	Piano portacampioni eucentrico meccanico a 5 assi
	Intervallo di livelli	X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10*~+70°, R: 360°
Rivelatori ed Estensioni SEM	Norma	Rilevatore nell'obiettivo Rivelatore Everhart-Thornley (ETD)
Rivelatori ed Estensioni SEM	Facoltativo	Rivelatore retrattile di elettroni retrodiffusi (BSED) Rivelatore retrattile per microscopia elettronica a trasmissione a scansione (STEM) Spettrometro a dispersione di energia (EDS/EDX) Modello di diffrazione della retrodiffusione elettronica (EBSD) Blocco di carico per lo scambio dei campioni (4" e 8" opzionale) Pannello di controllo con trackball e manopola Decelerazione tandem fase campione Sistema di recinzione per campo magnetico e rumore acustico (certificato SEMI)
Software	Lingue	Inglese
	Sistema operativo	Finestre
	Navigazione	Nav-Cam, navigazione rapida tramite gesti
	Funzioni automatiche	Luminosità e contrasto automatici, Messa a fuoco automatica, Stigmatizzatore automatico

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