CIQTEK lancia una soluzione di ispezione wafer da 12 pollici per analisi non distruttive, ad alta risoluzione e a copertura totale
CIQTEK lancia una soluzione di ispezione wafer da 12 pollici per analisi non distruttive, ad alta risoluzione e a copertura totale
September 22, 2025
CIQTEK
ha introdotto la sua prossima generazione
cialda da 12 pollici
microscopio elettronico a scansione (SEM)
soluzione
Progettata per soddisfare le esigenze dei processi di produzione avanzati di semiconduttori. Offrendo l'ispezione completa del wafer senza necessità di rotazione o inclinazione, questa soluzione innovativa garantisce analisi non distruttive ad alta risoluzione a supporto dello sviluppo di processi critici.
Dotato di un
palcoscenico da viaggio ultra-grande
(X/Y ≥ 300 mm), il sistema fornisce una copertura completa di wafer da 12 pollici, eliminando la necessità di tagliare o trasferire il campione. Ciò garantisce un'osservazione fedele delle "dimensioni originali, posizione originale". Con un
Cannone elettronico a emissione di campo Schottky
, raggiunge una risoluzione di
1,0 nm
a 15 kV e 1,5 nm a 1 kV, riducendo al minimo i danni causati dal fascio di elettroni e rendendolo ideale per materiali e strutture sensibili.
Caratteristiche principali
includono:
Palcoscenico da viaggio ultra-large
(X/Y > 300 mm) per l'ispezione completa del wafer
Immagini ad alta risoluzione
: 1,0 nm a 15 kV e 1,5 nm a 1 kV
Caricamento automatico
E
sistema di navigazione ottica
per uno scambio rapido dei wafer e un posizionamento preciso
Software intelligente
per messa a fuoco automatica, correzione dell'astigmatismo e output di immagini multiformato
Il SEM per l'ispezione di wafer da 12 pollici di CIQTEK è più di un semplice strumento di osservazione: è uno strumento fondamentale che favorisce rese più elevate e nodi più piccoli nella produzione di semiconduttori.
26-30 settembre, Wuhan
CIQTEK presenterà
otto soluzioni all'avanguardia per la microscopia elettronica
al
Conferenza nazionale cinese sulla microscopia elettronica del 2025
!
Ga + Microscopio elettronico a scansione a emissione di campo con fascio ionico focalizzato IL Microscopio elettronico a scansione a fascio ionico focalizzato (FIB-SEM) CIQTEK DB550 Dispone di una colonna a fascio ionico focalizzato per nanoanalisi e preparazione di campioni. Utilizza la tecnologia ottica elettronica "super tunnel", bassa aberrazione e design dell'obiettivo non magnetico, e presenta la caratteristica "bassa tensione, alta risoluzione" per garantire le sue capacità analitiche su scala nanometrica. Le colonne ioniche facilitano un Ga + Sorgente di ioni di metallo liquido con fasci ionici altamente stabili e di alta qualità per garantire capacità di nanofabbricazione. Il DB550 è una workstation all-in-one per l'analisi e la fabbricazione di nanoparticelle, dotata di un nanomanipolatore integrato, un sistema di iniezione di gas e un software con interfaccia grafica intuitiva.
Microscopia elettronica a scansione a emissione di campo ad altissima risoluzione (FESEM) IL CIQTEK SEM5000X è un FESEM ad altissima risoluzione con un design ottimizzato della colonna ottica elettronica, che riduce le aberrazioni complessive del 30% e raggiunge una risoluzione ultraelevata di 0,6 nm a 15 kV e 1,0 nm a 1 kV. La sua elevata risoluzione e stabilità lo rendono vantaggioso nella ricerca avanzata sui materiali nanostrutturali, nonché nello sviluppo e nella produzione di chip IC semiconduttori a nodo ad alta tecnologia.
Risoluzione ultra elevata Microscopio elettronico a scansione a filamento di tungsteno IL CIQTEK SEM3300 Microscopio elettronico a scansione (SEM) Incorpora tecnologie come l'ottica elettronica "Super-Tunnel", i rivelatori di elettroni a lente e l'obiettivo composto elettrostatico ed elettromagnetico. Applicando queste tecnologie al microscopio a filamento di tungsteno, si supera il limite di risoluzione di lunga data di questo tipo di microscopio elettronico a scansione (SEM), consentendo al SEM a filamento di tungsteno di eseguire analisi a bassa tensione precedentemente ottenibili solo con i SEM a emissione di campo.