Il microscopio elettronico a scansione a fascio ionico focalizzato a doppio fascio CIQTEK DB550 combina l'imaging elettronico ad alta risoluzione e l'elaborazione di precisione tramite fascio ionico in un'unica piattaforma.
CIQTEK ha convalidato il suo Microscopio elettronico a scansione con fascio ionico focalizzato DB550 (FIB-SEM) su campioni reali di chip con nodo di processo a 5 nm, Dimostrazione di una preparazione di campioni TEM pronta per la produzione con strutture a pinna intatte, assenza di amorfizzazione e strati di film chiaramente risolti. I risultati confermano che il DB550 soddisfa le rigorose esigenze dei laboratori di analisi dei guasti dei semiconduttori avanzati che operano all'avanguardia della tecnologia di processo.
Nella ricerca e produzione di chip avanzati, due strumenti rivestono un'importanza fondamentale. Il microscopio elettronico a trasmissione (TEM) permette di osservare le strutture a livello atomico. Ma prima di poterlo fare, è necessario un campione sufficientemente sottile da consentire il passaggio degli elettroni. Ed è qui che entra in gioco il microscopio elettronico a scansione a fascio ionico focalizzato (FIB-SEM) a doppio fascio. Si tratta di un laboratorio di precisione che prepara questi campioni ultrasottili.
Vi presentiamo DB550: una piattaforma unica per l'imaging e l'elaborazione su scala nanometrica.
IL CIQTEK DB550 FIB-SEM Integra due potenti funzionalità su un'unica piattaforma. Da un lato, un microscopio elettronico a scansione (SEM) fornisce immagini di superficie ad alta risoluzione. Dall'altro, un fascio ionico focalizzato (FIB) esegue la rimozione di materiale su scala nanometrica con precisione chirurgica. Insieme, colmano il divario tra osservazione e fabbricazione a dimensioni misurate in miliardesimi di metro.
Nel cuore della DB550 si trova un colonna elettronica a bassa tensione e alta risoluzione abbinato alla tecnologia proprietaria di CIQTEK Colonna ionica "Chengying" Sviluppata interamente internamente, la colonna Chengying è il cuore pulsante del sistema, capace di effettuare tagli e incisioni su scala nanometrica. CIQTEK controlla l'intero processo di progettazione e produzione di questo componente fondamentale.
La sfida dei 5 nm: perché la preparazione dei campioni diventa più difficile a ogni nodo tecnologico.
A 5 nm e inferiori Le architetture dei chip si basano su transistor a effetto di campo di tipo aletta (FinFET) con larghezze e passi delle alette misurati in pochi nanometri. Il DB550 è progettato per gestire l'intero flusso di lavoro di preparazione del campione per questi nodi di processo esigenti. Inizia con taglio grosso ad alta corrente per rimuovere rapidamente il materiale ingombrante e raggiungere la regione target. Quindi passa a lucidatura fine a bassa tensione assottigliare il campione fino alle dimensioni adatte alla microscopia elettronica a trasmissione (TEM) senza danneggiare le delicate strutture sottostanti.
Validazione TEM: la prova è nell'immagine
CIQTEK Ho preparato un campione di chip con processo a 5 nm sul DB550 e l'ho trasferito su un TEM per la caratterizzazione. I risultati parlano da soli.
La caratterizzazione TEM di un campione di chip da 5 nm preparato sul DB550 mostra strutture a pinna intatte con strati di film chiari e ben definiti e nessun danno da amorfizzazione.
Le immagini TEM hanno rivelato che il Le strutture delle pinne sono rimaste completamente intatte dopo la preparazione FIB. Non è stata rilevata alcuna amorfizzazione nel reticolo cristallino del silicio. I singoli strati del film sono apparsi chiaro e ben definito nella sezione trasversale TEM. Questi risultati convalidano le prestazioni di preparazione del campione a doppio fascio del DB550 sui nodi di processo più avanzati.
Progettato per l'affidabilità, costruito per durare nel tempo.
I microscopi elettronici sono lo strumento principale nei laboratori di analisi dei guasti dei semiconduttori. CIQTEK sviluppa il DB550 da zero, coprendo l'intero stack tecnologico da dall'hardware di base agli algoritmi sottostanti La colonna ionica proprietaria Chengying, l'ottica elettronica, la meccanica del campione e il software di controllo sono tutti progettati e ottimizzati come un sistema integrato.
Il controllo completo del progetto rafforza la resilienza della catena di fornitura. Ogni componente critico viene reperito attraverso la pipeline di sviluppo controllata di CIQTEK. Per i laboratori di semiconduttori che dipendono dal funzionamento continuo degli strumenti per l'analisi della resa produttiva e le indagini sui guasti, questa prevedibilità è fondamentale.
CIQTEK supporta il DB550 con supporto tecnico continuo, affidabile e reattivo L'azienda fornisce inoltre supporto applicativo per aiutare i laboratori a sviluppare e ottimizzare le ricette di preparazione per nuovi nodi di processo e architetture di dispositivi innovative.
