Il microscopio elettronico a scansione (SEM) è un potente strumento per varie applicazioni nelle scienze dei materiali, nelle scienze della vita e in altri campi. Sono stati sviluppati diversi tipi di rilevatori per ottenere maggiori informazioni e migliorare le prestazioni del SEM. Di seguito sono riportati alcuni tipi comuni di rilevatori SEM :
Rilevatore di elettroni retrodiffusi (BSE): i rilevatori di BSE vengono utilizzati per rilevare gli elettroni diffusi dai nuclei degli atomi e gli elementi ad alto numero atomico all'interno di una sostanza. I rilevatori di BSE forniscono immagini ad alto contrasto che possono essere utilizzate per l'analisi compositiva dei materiali e la caratterizzazione delle microstrutture.
Rivelatore di elettroni secondari (SE): il rivelatore SE viene utilizzato per rilevare gli elettroni secondari sulla superficie di un materiale eccitato da un fascio di elettroni a scansione. Poiché la morfologia superficiale e la composizione del materiale influenzano gli elettroni secondari, il rilevatore SE fornisce un'immagine ad alta risoluzione della topografia superficiale.
Rilevatore di elettroni di trasmissione (TED): i rilevatori TED vengono utilizzati per rilevare gli elettroni di trasmissione che passano attraverso un sottile foglio di materiale e sono focalizzati sul rilevatore. I rilevatori TED sono adatti per analisi compositive e strutturali ad alta risoluzione di materiali, ad esempio la caratterizzazione a livello atomico di nanoparticelle.
Spettroscopia a raggi X a dispersione di energia (EDS): i rilevatori EDS vengono utilizzati per analizzare la composizione elementare dei materiali. Quando un fascio di elettroni a scansione interagisce con un campione, vengono prodotti raggi X caratteristici e il rilevatore EDS raccoglie e misura lo spettro energetico di questi raggi X per determinare la composizione chimica e la distribuzione degli elementi del materiale.
Rivelatore di campo ritardante (RFD): il rilevatore RFD viene utilizzato per misurare la carica trasportata dagli elettroni generati sulla superficie del campione. Questo tipo di rivelatore è molto utile per studiare la conduttività elettrica e le proprietà di carica superficiale dei materiali.
Questi sono solo alcuni dei comuni rilevatori SEM; esistono infatti molti altri tipi di rilevatori, ciascuno con vantaggi e applicazioni diversi. La scelta del rilevatore appropriato dipende dagli obiettivi dello studio e dalle informazioni che si vogliono ottenere.