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FESEM ad altissima risoluzione | SEM5000X

Microscopia elettronica a scansione a emissione di campo ad altissima risoluzione (FESEM)

IL CIQTEK SEM5000X è un FESEM ad altissima risoluzione con un design ottimizzato della colonna ottica elettronica, che riduce le aberrazioni complessive del 30% e raggiunge una risoluzione ultraelevata di 0,6 nm a 15 kV e 1,0 nm a 1 kV. La sua elevata risoluzione e stabilità lo rendono vantaggioso nella ricerca avanzata sui materiali nanostrutturali, nonché nello sviluppo e nella produzione di chip IC semiconduttori a nodo ad alta tecnologia.

Informarsi ora

▶ Ottica elettronica

SEM5000X Electron Optics

Aggiornamento dell'obiettivo

L'aberrazione cromatica delle lenti è stata ridotta del 12%, l'aberrazione sferica delle lenti è stata ridotta del 20% e l'aberrazione complessiva è stata ridotta del 30%.

SEM5000X Electron Optics

Tecnologia di decelerazione a doppio raggio

Decelerazione del fascio in-lens, applicabile a campioni con grandi volumi, sezioni trasversali e superfici irregolari. La tecnologia a doppia decelerazione (decelerazione del fascio in-lens + decelerazione del fascio tandem sul piano portacampione) sfida i limiti degli scenari di acquisizione del segnale sulla superficie del campione.

▶ Immagini ad alta risoluzione a bassa tensione

▶ Rilevatore di elettroni in-lens / campione

▶ Rivelatore Everhart-Thornley (ETD)

▶ Rilevatore di elettroni retrodiffusi retrattile (BSED) *Opzionale

FESEM Retractable Back-Scattered Electron Detector (BSED)

▶ Modalità ECCI (Electron Channeling Contrast Imaging) basata su BSED

L'effetto "Electron Channeling" si riferisce a una significativa riduzione della diffusione degli elettroni da parte dei reticoli cristallini, quando il fascio di elettroni incidente soddisfa la condizione di diffrazione di Bragg, consentendo a un gran numero di elettroni di passare attraverso il reticolo, esibendo così un effetto "channeling".

Per i materiali policristallini con composizione uniforme e superfici piane e lucide, l'intensità degli elettroni retrodiffusi dipende dall'orientamento relativo tra il fascio di elettroni incidente e i piani cristallini. I grani con una maggiore variazione di orientamento mostrano segnali più intensi, quindi immagini più luminose; con tale mappa di orientamento dei grani si ottiene una caratterizzazione qualitativa.

▶ Imaging multicanale simultaneo tramite vari rilevatori

▶ Rilevatore di microscopia elettronica a trasmissione a scansione retrattile (STEM)

FESEM Retractable Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) Detector

>> Molteplici modalità operative: Imaging in campo chiaro (BF), Imaging in campo scuro (DF), Imaging in campo scuro anulare ad alto angolo (HAADF)

▶ Progressi nella microscopia elettronica CIQTEK: più opzioni

>> Spettrometria a dispersione di energia

>> Catoluminescenza

>> EBSD

▶ Software di analisi di particelle e pori (Particle) *Opzionale

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

Il software CIQTEK SEM Microscope impiega vari algoritmi di rilevamento e segmentazione del target, adatti a diversi tipi di campioni di particelle e pori. Consente l'analisi quantitativa delle statistiche di particelle e pori e può essere applicato in campi quali la scienza dei materiali, la geologia e le scienze ambientali.

▶ Software di post-elaborazione delle immagini *Opzionale

SEM Microscope Image Post-processing Software

Esegui la post-elaborazione delle immagini online o offline su immagini acquisite da microscopi elettronici e integra le funzioni di elaborazione delle immagini EM più comunemente utilizzate, nonché strumenti di misurazione e annotazione convenienti.

▶ Misurazione automatica *Opzionale

SEM Microscope software Auto Measure

Riconoscimento automatico dei bordi della larghezza delle linee, per misurazioni più accurate e uniformi. Supporta diverse modalità di rilevamento dei bordi, come Linea, Spazio, Passo, ecc. Compatibile con diversi formati immagine e dotato di diverse funzioni di post-elaborazione delle immagini di uso comune. Il software è facile da usare, efficiente e preciso.

▶ Kit di sviluppo software (SDK) *Opzionale

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

Fornisce un set di interfacce per il controllo del microscopio SEM, tra cui acquisizione delle immagini, impostazioni delle condizioni operative, accensione/spegnimento, controllo del tavolino, ecc. Definizioni concise dell'interfaccia consentono il rapido sviluppo di script e software specifici per il funzionamento del microscopio elettronico, consentendo il tracciamento automatico delle regioni di interesse, l'acquisizione di dati per l'automazione industriale, la correzione della deriva delle immagini e altre funzioni. Può essere utilizzato per lo sviluppo di software in aree specializzate come l'analisi delle diatomee, l'ispezione delle impurità dell'acciaio, l'analisi della pulizia, il controllo delle materie prime, ecc.

▶ AutoMap *Opzionale

FESEM Microscope software Auto Measure

Specifiche del microscopio FESEM CIQTEK SEM5000X
Ottica elettronica Risoluzione 0,6 nm a 15 kV, SE
1,0 nm a 1 kV, SE
Tensione di accelerazione 0,02 kV ~30 kV
Ingrandimento 1 ~ 2.500.000 x
Tipo di cannone elettronico Cannone elettronico a emissione di campo Schottky
Camera per campioni Telecamere Doppia telecamera (navigazione ottica + monitor della camera)
Tipo di fase Tavolino portacampioni eucentrico meccanico a 5 assi
Gamma di palcoscenici X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm
T: -10*~+70°, R: 360°
Rilevatori ed estensioni SEM Standard Rilevatore nell'obiettivo
Rivelatore Everhart-Thornley (ETD)
Opzionale

Rilevatore di elettroni retrodiffusi retrattile (BSED)

Rilevatore di microscopia elettronica a trasmissione a scansione retrattile (STEM)

Rilevatore di basso vuoto (LVD)

Spettrometro a dispersione di energia (EDS / EDX)

Modello di diffrazione della retrodiffusione degli elettroni (EBSD)

Blocco di carico per lo scambio di campioni (4 pollici / 8 pollici)

Pannello di controllo con trackball e manopola

Modalità Duo-Dec (Duo-Dec)

Interfaccia utente Lingue Inglese
Sistema operativo Finestre
Navigazione Navigazione ottica, navigazione rapida tramite gesti, trackball (opzionale)
Funzioni automatiche Luminosità e contrasto automatici, messa a fuoco automatica, stigmatizzatore automatico

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