fesem edx

FESEM ad altissima risoluzione | SEM5000X

La microscopia elettronica a scansione a emissione di campo ad altissima risoluzione (FESEM) sfida i limiti

Il CIQTEK SEM5000X è un FESEM ad altissima risoluzione con design ottimizzato della colonna ottica elettronica, che riduce le aberrazioni complessive del 30%, ottenendo una risoluzione ultraelevata di 0,6 nm a 15 kV e 1,0 nm a 1 kV . La sua alta risoluzione e stabilità lo rendono vantaggioso nella ricerca avanzata sui materiali nanostrutturali, nonché nello sviluppo e nella produzione di chip IC semiconduttori a nodi ad alta tecnologia.

ⶠOttica elettronica

SEM5000X Electron Optics

Aggiornamento obiettivo

L'aberrazione cromatica dell'obiettivo è stata ridotta del 12%, l'aberrazione sferica dell'obiettivo è stata ridotta del 20% e l'aberrazione complessiva è stata ridotta del 30%.

SEM5000X Electron Optics

Tecnologia di decelerazione a doppio raggio

Decelerazione del fascio all'interno della lente, applicabile a campioni con grandi volumi, sezioni trasversali e superfici irregolari. La tecnologia a doppia decelerazione (decelerazione del raggio all'interno dell'obiettivo + decelerazione del raggio tandem sul tavolino del campione) sfida i limiti degli scenari di acquisizione del segnale sulla superficie del campione.


ⶠImmagini ad alta risoluzione a bassa tensione


ⶠRilevatore di elettroni/campione integrato nell'obiettivo


ⶠRivelatore Everhart-Thornley (ETD)


ⶠRivelatore retrattile di elettroni diffusi all'indietro (BSED) *Opzionale

FESEM Retractable Back-Scattered Electron Detector (BSED)

ⶠModalità ECCI basata su BSED (Electron Channeling Contrast Imaging)

L'"effetto di canalizzazione degli elettroni" si riferisce ad una significativa riduzione della diffusione degli elettroni da parte dei reticoli cristallini, quando il fascio di elettroni incidente soddisfa la condizione di diffrazione di Bragg, consentendo a un gran numero di elettroni di passare attraverso il reticolo, esibendo così una "canalizzazione" effetto.

Per materiali policristallini con composizione uniforme e superfici piane lucide, l'intensità degli elettroni retrodiffusi si basa sull'orientamento relativo tra il fascio di elettroni incidente e i piani cristallini. I grani con una variazione di orientamento maggiore mostrano segnali più forti, quindi immagini più luminose, si ottiene una caratterizzazione qualitativa con tale mappa di orientamento dei grani.


ⶠImaging multicanale simultaneo tramite vari rilevatori


ⶠRivelatore retrattile per microscopia elettronica a trasmissione a scansione (STEM)

FESEM Retractable Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) Detector

Modalità operative multiple: Imaging in campo chiaro (BF), Imaging in campo scuro (DF), Imaging in campo scuro anulare ad alto angolo (HAADF)


ⶠProgressi nella microscopia elettronica CIQTEK - Altre opzioni

Spettrometria a dispersione di energia

  • Energy Dispersive Spectrometry

Catholuminescenza

  • sem image analysis -Catholuminescence
  • sem image analysis - Catholuminescence

EBSD

  • sem EBSD
  • sem EBSD

ⶠSoftware di analisi delle particelle e dei pori (particelle) *Opzionale

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

Il software del microscopio CIQTEK SEM utilizza vari algoritmi di rilevamento e segmentazione del target, adatti a diversi tipi di campioni di particelle e pori. consente l'analisi quantitativa delle statistiche di particelle e pori e può essere applicato in campi quali la scienza dei materiali, la geologia e la scienza ambientale.


ⶠSoftware di post-elaborazione delle immagini *Opzionale

SEM Microscope Image Post-processing Software

Esegui la post-elaborazione delle immagini online o offline su immagini catturate da microscopi elettronici e integra funzioni di elaborazione delle immagini EM comunemente utilizzate, pratici strumenti di misurazione e annotazione.


ⶠMisurazione automatica *Opzionale

SEM Microscope software Auto Measure

Riconoscimento automatico dei bordi della larghezza della linea, con conseguenti misurazioni più accurate e maggiore coerenza. Supporta più modalità di rilevamento dei bordi, come Linea, Spazio, Passo, ecc. Compatibile con più formati di immagine e dotato di varie funzioni di post-elaborazione delle immagini di uso comune. Il software è facile da usare, efficiente e accurato.


ⶠKit di sviluppo software (SDK) *Opzionale

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

Fornire una serie di interfacce per il controllo del microscopio SEM, inclusa l'acquisizione di immagini, le impostazioni delle condizioni operative, l'accensione/spegnimento, il controllo del palco, ecc. Le definizioni concise dell'interfaccia consentono il rapido sviluppo di script e software specifici per il funzionamento del microscopio elettronico, consentendo tracciamento automatizzato delle regioni di interesse, acquisizione dati di automazione industriale, correzione della deriva dell'immagine e altre funzioni. Può essere utilizzato per lo sviluppo di software in aree specializzate come l'analisi delle diatomee, l'ispezione delle impurità dell'acciaio, l'analisi della pulizia, il controllo delle materie prime, ecc.


ⶠMappa automatica *Opzionale

FESEM Microscope software Auto Measure

Specifiche del microscopio CIQTEK SEM5000X FESEM
Ottica elettronica Risoluzione 0,6 nm a 15 kV, SE
1,0 nm a 1 kV, SE
Tensione di accelerazione 0,02 kV ~30 kV
Ingrandimento 1 ~ 2.500.000 x
Tipo di pistola elettronica Cannone elettronico a emissione di campo Schottky
Camera dei campioni Fotocamere Doppia fotocamera (navigazione ottica + monitor della camera)
Tipo di fase Piano portacampioni eucentrico meccanico a 5 assi
Intervallo di livelli X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm
T: -10*~+70°, R: 360°
Rivelatori ed Estensioni SEM Norma Rilevatore nell'obiettivo
Rilevatore Everhart-Thornley (ETD)
Facoltativo

Rivelatore retrattile di elettroni retrodiffusi (BSED)

Rivelatore retrattile per microscopia elettronica a trasmissione a scansione (STEM)

Rilevatore di basso vuoto (LVD)

Spettrometro a dispersione di energia (EDS / EDX)

Modello di diffrazione della retrodiffusione elettronica (EBSD)

Blocco di carico per lo scambio dei campioni (4 pollici/8 pollici)

Pannello di controllo con trackball e manopola

Modalità Duo-Dec (Duo-Dec)

Interfaccia utente Lingue Inglese
Sistema operativo Finestre
Navigazione Navigazione ottica, Navigazione rapida gestuale, Trackball (opzionale)
Funzioni automatiche Luminosità e contrasto automatici, Messa a fuoco automatica, Stigmatizzatore automatico

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