Microscopio elettronico a scansione ad alta velocità per l'imaging su scala incrociata di campioni di grandi volumi
Ciqtek HEM6000 dispone di tecnologie quali il cannone elettronico a corrente a fascio largo ad alta luminosità, il sistema di deflessione del fascio elettronico ad alta velocità, la decelerazione dello stadio campione ad alta tensione, l'asse ottico dinamico e l'obiettivo combinato elettromagnetico ed elettrostatico a immersione per ottenere risultati elevati -velocità di acquisizione delle immagini garantendo allo stesso tempo una risoluzione su scala nanometrica.
Il processo operativo automatizzato è progettato per applicazioni quali un flusso di lavoro di imaging ad alta risoluzione su grandi aree più efficiente e intelligente. La velocità di imaging può raggiungere più di 5 volte più velocemente di un microscopio elettronico a scansione a emissione di campo convenzionale (fesem).
Tempo di permanenza 10 ns/pixel, velocità massima di acquisizione delle immagini 2*100 M pixel/s
Sistemi elettro-ottici | Risoluzione | 1,3 nm@3 kV, SE; 2,2 nm@1 kV, SE | |||
1,9 nm a 3 kV, BSE; 3,3 nm@1 kV, BSE | |||||
Ingrandimento | 66 - 1.000.000x | ||||
Tensione di accelerazione | 0,1 kV - 6 kV (modalità decelerazione) | ||||
6 kV - 30 kV (modalità Nessuna decelerazione) | |||||
Pistola elettronica | Cannone elettronico ad emissione di campo Schottky ad alta luminosità | ||||
Tipo di obiettivo | Lente obbiettivo combinato elettromagnetico ed elettrostatico a immersione | ||||
Sistema di caricamento dei campioni | Sistema di vuoto | Sistema di vuoto completamente automatico senza olio | |||
Monitoraggio dei campioni | Telecamera di monitoraggio della camera principale orizzontale; telecamera di monitoraggio della camera di blocco del carico per scambio campioni verticale | ||||
Dimensione massima del campione | 4 pollici di diametro | ||||
Stadio campione |
Tipo | Tavolino portacampione motorizzato a 3 assi (*piano portacampione ad azionamento piezoelettrico opzionale) | |||
Gamma di viaggio | X, Y: 110 mm; Z: 28mm | ||||
Ripetibilità | X: ±0,6μm; Y: ±0,3 μm | ||||
Scambio di campioni |
Completamente automatico | ||||
Durata dello scambio di campioni | ï¼15 minuti | ||||
Pulizia della camera di blocco del carico | Sistema di pulizia al plasma completamente automatico | ||||
Acquisizione ed elaborazione delle immagini | Tempo di permanenza | 10 ns/pixel | |||
Velocità di acquisizione | 2*100 Mpixel/s | ||||
Dimensione immagine | 8K*8K | ||||
Rivelatore e accessori |
Configurazione standard | Rivelatore di elettroni nell'obiettivo | |||
Configurazione opzionale |
Rilevatore di elettroni retrodiffusi a basso angolo | ||||
Rilevatore di elettroni retrodiffusi ad alto angolo in colonna | |||||
Piano portacampione azionato piezoelettrico | |||||
Modalità FOV ampio ad alta risoluzione (SW) | |||||
Sistema di pulizia al plasma della camera di carico | |||||
Sistema di caricamento dei campioni da 6 pollici | |||||
Piattaforma antivibrante attiva | |||||
Riduzione del rumore AI; cuciture su campo di grandi dimensioni; Ricostruzione 3D | |||||
Interfaccia utente |
Lingua | Inglese | |||
SO | Finestre | ||||
Navigazione | Navigazione ottica, navigazione rapida tramite gesti | ||||
Funzione automatica | Riconoscimento automatico del campione, selezione automatica dell'area di imaging, luminosità e contrasto automatici, messa a fuoco automatica, stigmatizzatore automatico |