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CIQTEK is the manufacturer and global supplier of high-value scientific instruments, such as Scanning Electron Microscopes (SEM and FIB-SEM), Electron Paramagnetic Resonance (Electron Spin Resonance) Spectroscopy, Scanning NV Probe Microscope, Gas Adsorption Analyzer, etc.
sem electron microscope

SEM ad alta velocità | HEM6000

Microscopio elettronico a scansione ad alta velocità per l'imaging su scala incrociata di campioni di grandi volumi

Ciqtek HEM6000 dispone di tecnologie quali il cannone elettronico a corrente a fascio largo ad alta luminosità, il sistema di deflessione del fascio elettronico ad alta velocità, la decelerazione dello stadio campione ad alta tensione, l'asse ottico dinamico e l'obiettivo combinato elettromagnetico ed elettrostatico a immersione per ottenere risultati elevati -velocità di acquisizione delle immagini garantendo allo stesso tempo una risoluzione su scala nanometrica.

Il processo operativo automatizzato è progettato per applicazioni quali un flusso di lavoro di imaging ad alta risoluzione su grandi aree più efficiente e intelligente. La velocità di imaging può raggiungere più di 5 volte più velocemente di un microscopio elettronico a scansione a emissione di campo convenzionale (fesem).

Sistemi elettro-ottici Risoluzione 1,3 nm@3 kV, SE; 2,2 nm@1 kV, SE
1,9 nm a 3 kV, BSE; 3,3 nm@1 kV, BSE
Ingrandimento 66 - 1.000.000x
Tensione di accelerazione 0,1 kV - 6 kV (modalità decelerazione)
6 kV - 30 kV (modalità Nessuna decelerazione)
Pistola elettronica Cannone elettronico ad emissione di campo Schottky ad alta luminosità
Tipo di obiettivo Lente obbiettivo combinato elettromagnetico ed elettrostatico a immersione
Sistema di caricamento dei campioni Sistema di vuoto Sistema di vuoto completamente automatico senza olio
Monitoraggio dei campioni Telecamera di monitoraggio della camera principale orizzontale; telecamera di monitoraggio della camera di blocco del carico per scambio campioni verticale
Dimensione massima del campione 4 pollici di diametro
Stadio campione
Tipo Tavolino portacampione motorizzato a 3 assi (*piano portacampione ad azionamento piezoelettrico opzionale)
Gamma di viaggio X, Y: 110 mm; Z: 28mm
Ripetibilità X: ±0,6μm; Y: ±0,3 μm
Scambio di campioni
Completamente automatico
Durata dello scambio di campioni ï¼15 minuti
Pulizia della camera di blocco del carico Sistema di pulizia al plasma completamente automatico
Acquisizione ed elaborazione delle immagini Tempo di permanenza 10 ns/pixel
Velocità di acquisizione 2*100 Mpixel/s
Dimensione immagine 8K*8K
Rivelatore e accessori
Configurazione standard Rivelatore di elettroni nell'obiettivo
Configurazione opzionale
Rilevatore di elettroni retrodiffusi a basso angolo
Rilevatore di elettroni retrodiffusi ad alto angolo in colonna
Piano portacampione azionato piezoelettrico
Modalità FOV ampio ad alta risoluzione (SW)
Sistema di pulizia al plasma della camera di carico
Sistema di caricamento dei campioni da 6 pollici
Piattaforma antivibrante attiva
Riduzione del rumore AI; cuciture su campo di grandi dimensioni; Ricostruzione 3D
Interfaccia utente
Lingua Inglese
SO Finestre
Navigazione Navigazione ottica, navigazione rapida tramite gesti
Funzione automatica Riconoscimento automatico del campione, selezione automatica dell'area di imaging, luminosità e contrasto automatici, messa a fuoco automatica, stigmatizzatore automatico
  • Automazione ad alta velocità
    Processo di caricamento e scaricamento dei campioni completamente automatico e operazione di acquisizione delle immagini, che rende la velocità di imaging complessiva 5 volte più veloce di quella del FESEM convenzionale
  • Ampio campo visivo
    La tecnologia che sposta dinamicamente l'asse ottico in base all'intervallo di deflessione della scansione, raggiunge una distorsione minima dei bordi
  • Bassa distorsione dell'immagine
    La tecnologia di decelerazione tandem dello stadio campione consente di ottenere una bassa energia di atterraggio, ottenendo immagini ad alta risoluzione

High Speed SEM HEM6000

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