Microscopio elettronico a scansione a emissione di campo (FE-SEM) con colonne a fascio ionico focalizzato (FIB)
Il microscopio elettronico a scansione a fascio ionico focalizzato CIQTEK DB500 (FIB-SEM) adotta la tecnologia ottica elettronica "SuperTunnel", bassa aberrazione e design dell'obiettivo non magnetico con bassa tensione e capacità di alta risoluzione per garantire l’analisi su scala nanometrica. La colonna ionica facilita una sorgente ionica di metallo liquido Ga+ con un fascio ionico altamente stabile e di alta qualità per la nanofabbricazione.
FIB-SEM DB500 è dotato di un nanomanipolatore integrato, un sistema di iniezione del gas, un meccanismo elettrico anticontaminazione per la lente dell'obiettivo e 24 porte di espansione, che lo rendono una piattaforma di nanoanalisi e fabbricazione completa con configurazioni complete ed espandibilità .
• Tecnologia di ottica elettronica "SuperTunnel" con obiettivo privo di magnetismo, adatta per l'imaging ad alta risoluzione e compatibile con l'imaging di campioni magnetici.
• La colonna a fascio ionico focalizzato (FIB) emette un fascio ionico altamente stabile e di alta qualità, adatto per la nanofabbricazione di alta qualità e la preparazione dei campioni TEM.
• Un manipolatore ad azionamento piezoelettrico nella camera del campione con un sistema di controllo integrato per una manipolazione precisa.
• Sistema sviluppato in modo indipendente con forte espandibilità. Il design del gruppo sorgente ionica integrato per un rapido scambio della sorgente ionica. Assistenza in tutto il mondo, garanzia di tre anni per FIB-SEM DB500.
Risoluzione: 3 nm@30 kV
Corrente sonda (intervallo di corrente del fascio ionico): 1 pA~50 nA
Intervallo di tensione di accelerazione: 0,5~30 kV
Intervallo di scambio della sorgente ionica: ≥1000 ore
Stabilità: 72 ore di funzionamento ininterrotto
Camera montata internamente
Tre assi completamente piezoelettrici
Precisione del motore passo-passo ≤10 nm
Velocità massima di spostamento 2 mm/s
Controllo integrato
Progettazione GIS unica
Sono disponibili varie fonti di precursori di gas
Distanza di inserimento dell'ago ≥35 mm
Ripetibilità del movimento ≤10 μm
Ripetibilità del controllo della temperatura di riscaldamento ≤0,1°C
Intervallo di riscaldamento: temperatura ambiente ~ 90°C (194°F)
Controllo integrato
Specifiche CIQTEK FIB-SEM DB500 | ||
Sistema a fascio di elettroni | Tipo di pistola elettronica | Cannone elettronico ad emissione di campo Schottky ad alta luminosità |
Risoluzione | 1,2 nm@15 kV | |
Tensione di accelerazione | 0,02~30 kV | |
Sistema a fascio ionico | Tipo di sorgente ionica | Sorgente ionica di gallio liquido |
Risoluzione | 3 nm@30 kV | |
Tensione di accelerazione | 0,5~30 kV | |
Camera dei campioni | Sistema di vuoto | Controllo completamente automatico, sistema di vuoto senza olio |
Fotocamere |
Tre fotocamere (Navigazione ottica + monitor camera x2) |
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Tipo di fase | Piano portacampioni eucentrico meccanico a 5 assi | |
Intervallo di livelli |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10°~+70°, R:360° |
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Rivelatori ed estensioni SEM | Norma |
Rilevatore nell'obiettivo Rivelatore Everhart-Thornley (ETD) |
Facoltativo |
Rivelatore retrattile di elettroni retrodiffusi (BSED) Rivelatore retrattile per microscopia elettronica a trasmissione a scansione (STEM) Spettrometro a dispersione di energia (EDS/EDX) Modello di diffrazione della retrodiffusione elettronica (EBSD) Nanomanipolatore Sistema di iniezione del gas Pulitore al plasma Blocco di carico per lo scambio dei campioni Pannello di controllo con trackball e manopola |
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Software | Lingue | Inglese |
Sistema operativo | Finestre | |
Navigazione | Nav-Cam, navigazione rapida gestuale | |
Funzioni automatiche | Luminosità e contrasto automatici, Messa a fuoco automatica, Stigmatizzatore automatico |
Microscopio elettronico a scansione a fascio ionico focalizzato CIQTEK FIB-SEM BD500 |
Dimostrazione pratica CIQTEK FIB-SEM - Preparazione del campione TEM |