CIQTEK SEM5000X è un microscopio elettronico a scansione a emissione di campo (FE-SEM) ad altissima risoluzione con risoluzione rivoluzionaria di 0,6 nm a 15 kV e 1,0 nm a 1 kV.
Sfruttando il processo di progettazione della colonna aggiornato, la tecnologia "SuperTunnel" e il design dell'obiettivo ad alta risoluzione, SEM5000X può ottenere ulteriori miglioramenti nella risoluzione dell'immagine a bassa tensione. Le porte della camera dei campioni si estendono fino a 16 e il blocco del carico per lo scambio dei campioni supporta wafer fino a 8 pollici (diametro massimo 208 mm), espandendo notevolmente le applicazioni. copertura. Le modalità di scansione avanzate e le funzioni automatizzate migliorate offrono prestazioni più potenti e un'esperienza ancora più ottimizzata.
(*Accessori opzionali)
Parametri chiave | Risoluzione | 0,6 nm a 15 kV, SE 1,0 nm a 1 kV, SE |
Tensione di accelerazione | 20 V~30 kV | |
Ingrandimento | 1 ~ 2.500.000x | |
Tipo di pistola elettronica | Pistola elettronica ad emissione di campo Schottky | |
Camera dei campioni |
Sistema di vuoto
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Controllo completamente automatizzato |
Macchine fotografiche | Doppia fotocamera (navigazione ottica + monitor della camera) | |
Tipo di palcoscenico | Tavolino portacampioni eucentrico meccanico a 5 assi | |
Gamma del palco | X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10*~+70°, R: 360° |
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Rilevatori ed estensioni | Standard | Rilevatore nell'obiettivo Rilevatore Everhart-Thornley (ETD) |
Opzionale | Rilevatore di elettroni retrodiffusi retrattile (BSED) Rivelatore retrattile per microscopia elettronica a trasmissione a scansione (STEM) Spettrometro a dispersione di energia (EDS) Modello di diffrazione retrodiffusa di elettroni (EBSD) Blocco di carico per lo scambio dei campioni (4" e 8" opzionale) Trackball e Pannello di controllo della manopola Decelerazione tandem della fase campione Campo magnetico e Sistema di recinzione acustica del rumore (certificato SEMI) |
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Software | Le lingue | Inglese |
Sistema operativo | finestre |
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Navigazione | Nav-Cam, navigazione rapida gestuale |
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Funzioni automatiche | Luminosità automatica e luminosità Contrasto, Messa a fuoco automatica, Stigmatore automatico |