CIQTEK DB500 è un microscopio elettronico a scansione a emissione di campo con una colonna a fascio ionico focalizzato per la nanoanalisi e la preparazione dei campioni, che viene applicato con la tecnologia "SuperTunnel", bassa aberrazione e design dell'obiettivo privo di magnetismo, con bassa tensione e alta risoluzione capacità che ne garantisce la capacità analitica su scala nanometrica. La colonna ionica facilita una sorgente ionica di metallo liquido Ga+ con un fascio ionico altamente stabile e di alta qualità per garantire la capacità di nanofabbricazione.
DB500 è dotato di un nano-manipolatore integrato, sistema di iniezione del gas, meccanismo elettrico anti-contaminazione per la lente dell'obiettivo e 24 porte di espansione, che lo rendono una piattaforma di nano-analisi e fabbricazione completa con configurazioni complete ed espandibilità.
• Tecnologia di ottica elettronica “SuperTunnel” con obiettivo privo di magnetismo, adatta per l'imaging ad alta risoluzione e compatibile con l'imaging di campioni magnetici.
• La colonna a fascio ionico focalizzato che emette un fascio ionico altamente stabile e di alta qualità, adatto per la nanofabbricazione di alta qualità e la preparazione dei campioni TEM.
• Un manipolatore ad azionamento piezoelettrico situato nella camera del campione con un sistema di controllo integrato per una manipolazione precisa.
• Sistema sviluppato in modo indipendente con forte espandibilità. Il design del gruppo sorgente ionica integrato per un rapido scambio della sorgente ionica. Servizio eccellente, supportato da una garanzia di tre anni inclusa.
Risoluzione: 3 nm@30 KV
Corrente della sonda (intervallo di corrente del fascio ionico): 1 pA~50 nA
Intervallo di tensione di accelerazione: 500 V~30 kV
Intervallo di scambio della sorgente ionica: ≥1000 ore
Stabilità: 72 ore di funzionamento ininterrotto
Camera montata internamente
Tre assi completamente piezoelettrici
Precisione del motore passo-passo ≤10 nm
Velocità massima di traslazione 2 mm/s
Controllo integrato
Progettazione GIS unica
Sono disponibili varie fonti di precursori del gas
Distanza di inserimento dell'ago ≥35 mm
Ripetibilità del movimento ≤10 μm
Ripetibilità del controllo della temperatura di riscaldamento ≤0,1°C
Intervallo di riscaldamento: temperatura ambiente ~ 90°C
Controllo integrato
Sistema a fascio di elettroni | Tipo di pistola elettronica | Pistola elettronica ad emissione di campo Schottky ad alta luminosità |
Risoluzione | 1,2 nm a 15 kV | |
Tensione di accelerazione | 20 V~30 kV | |
Sistema a fascio ionico | Tipo di sorgente ionica | Sorgente di ioni di gallio liquido |
Risoluzione | 3 nm@30 kV | |
Tensione di accelerazione | 500 V~30 kV | |
Camera dei campioni | Sistema di vuoto | Controllo completamente automatico, sistema di vuoto senza olio |
Macchine fotografiche |
Tre telecamere (Navigazione ottica + monitor della camera x2) |
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Tipo di palcoscenico | Tavolino portacampioni eucentrico meccanico a 5 assi | |
Gamma di palcoscenici |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10°~+70°, R:360° |
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Rilevatori ed estensioni | Standard |
Rilevatore nell'obiettivo Rilevatore Everhart-Thornley (ETD) |
Opzionale |
Rivelatore retrattile di elettroni retrodiffusi (BSED) Rivelatore retrattile per microscopia elettronica a trasmissione a scansione (STEM) Spettrometro a dispersione di energia (EDS) Modello di diffrazione della retrodiffusione di elettroni (EBSD) Nanomanipolatore Sistema di iniezione del gas Pulitore al plasma Blocco di carico per lo scambio di campioni Pannello di controllo con trackball e manopola |
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Software | Le lingue | Inglese |
Sistema operativo | finestre | |
Navigazione | Nav-Cam, navigazione rapida gestuale | |
Funzioni automatiche | Luminosità e contrasto automatici, messa a fuoco automatica, stigmatore automatico |